產(chǎn)品特點(diǎn)
– 模塊化設(shè)計(jì)
– 標(biāo)準(zhǔn)化接口
– 輕量化設(shè)計(jì)
– 高潔凈度密封設(shè)計(jì)
– 高速、高精度、潔凈搬運(yùn)
– 多枚基板同時(shí)處理，節(jié)省Tact Time
核心技術(shù)
– 大型基板搬運(yùn)振動(dòng)抑制
– 高潔凈度密封、凈化設(shè)計(jì)
– 基于位置反饋的變加速控制
– 故障診斷與預(yù)測(cè)
– 高精度精密加工、組裝工藝與檢測(cè)
| 機(jī)器人型號(hào) | svv-143系列 | svv-184系列 | svv-9L2系列 | svv-9H5系列 | svv-581系列 |
|---|---|---|---|---|---|
| 機(jī)器人類(lèi)型 | 圓柱型 | 支撐梁型 | 支撐梁型 | 支撐梁型 | 支撐梁型 |
| 可搬運(yùn)基板：基板世代 | 4.5G及以下 | 5.5G | 6G | 8.5G | 10.5G |
| 可搬運(yùn)基板：基板尺寸 | 370x470~730x920 mm | 1300x1500 mm | 1500x1850 mm | 2200x2500 mm | 2940x3370 mm |
| 可搬運(yùn)基板：基板厚度 | 0.4~1.4 mm | 0.4~1.4 mm | 0.4~1.4 mm | 0.4~1.4 mm | 0.4~1.4 mm |
| 運(yùn)動(dòng)范圍：水平移動(dòng) | 0~10200 mm | 0~11150 mm | 0~11700 mm | 0~15700 mm | 0~18600 mm |
| 運(yùn)動(dòng)范圍：垂直升降 | 0~1000 mm | 0~2400 mm | 0-4300 mm | 0~4700 mm | 0~6200 mm |
| 運(yùn)動(dòng)范圍：手臂伸縮 | -815~930 mm | -1615~1600 mm | -1700~1680 mm | -2300~2300 mm | -2925~2875 mm |
| 運(yùn)動(dòng)范圍：回轉(zhuǎn)角度 | 0°~370° | 0°~370° | 0°~370° | 0°~370° | 0°~370° |
| 最大速度：水平移動(dòng)軸 | 2300 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2300 mm/s |
| 最大速度：垂直升降軸 | 800 mm/s | 900 mm/s | 1000 mm/s | 1200 mm/s | 1300 mm/s |
| 最大速度：手臂伸縮軸 | 2500 mm/s | 3150 mm/s | 3800 mm/s | 4600 mm/s | 5000 mm/s |
| 最大速度：回轉(zhuǎn)軸 | 157°/s | 90°/s | 90°/s | 60°/s | 90°/s |
| 主要性能：重復(fù)定位精度 | ±0.2 mm | ±0.2 mm | ±0.2 mm | ±0.25 mm | ±0.25 mm |
| 主要性能：最大載重（含執(zhí)行未端) | 15 kg | 50 kg | 50 kg | 65 kg | 150 kg |
| 主要性能：執(zhí)行未端耐熱溫度 | 常溫~450 ℃ | 常溫~450 ℃ | 常溫~450 ℃ | 常溫~450℃ | 常溫~450 ℃ |
| 主要性能：潔凈度 | Class 10(0.3 um) | Class 10(0.3 um) | Class 10 (0.3 um) | Class 10(0.3 um) | Class 10 (0.3 pum) |
| 主要性能：運(yùn)行噪音 | ≤80 dB | ≤85 dB | ≤85 dB | ≤85 dB | ≤85 dB |
| 運(yùn)行環(huán)境：溫度 | 0~40 ℃ | 0~40 ℃ | 0~40℃ | 0~40 ℃ | 0~40 ℃ |
| 運(yùn)行環(huán)境：濕度 | 30~90% RH | 30~90% RH | 30~90% RH | 30~90% RH | 30~90%RH |
| 電源規(guī)格（三相) | AC200~230V±10% | AC200~230V±10% | AC200~230V±10% | AC200~230V±10% | AC200~230V±10% |
| 真空源規(guī)格 | -70 kPa | -70 kPa | -70 kPa | -70 kPa | -70 kPa |
京公網(wǎng)安備11030102010672號(hào)
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