產(chǎn)品應(yīng)用
集成電路：
-28-90nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)-邏輯、存儲、功率器件-poly，gate，contact，via，metal等工藝層制作
-28-90nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)
-邏輯、存儲、功率器件
-poly，gate，contact，via，metal等工藝層制作
產(chǎn)品特點(diǎn)
-分辨率：65-130nm-高分辨，高對比度，寬工藝窗口
-分辨率：65-130nm
-高分辨，高對比度，寬工藝窗口
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